厚度確定

橢偏測(cè)量和反射測(cè)量的結(jié)合允許通過(guò)自動(dòng)識(shí)別循環(huán)厚度周期來(lái)快速且明確地確定透明膜的厚度。

寬的測(cè)量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴(kuò)展到25μm，更多地取決于光度計(jì)的選項(xiàng)。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

結(jié)合橢偏反射性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度*的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

SE 500adv結(jié)合了橢偏儀和反射儀，除了測(cè)量透明膜層厚度的模糊性。它把可測(cè)量的厚度擴(kuò)展到25m，因此SE 500adv擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀SE 400adv的能力，特別適用于分析較厚的介質(zhì)膜、有機(jī)材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。

SE 500adv可作為激光橢偏儀、膜厚探針和CER橢偏儀使用。因此，它提供了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀從未達(dá)到的大靈活性。作為橢偏儀，可以進(jìn)行單角度和多角度測(cè)量。當(dāng)用作膜厚探針時(shí)，在正常入射下測(cè)量透明或弱吸收膜的厚度。

SE 500adv結(jié)合橢偏反射中的橢偏測(cè)量和反射測(cè)量的組合包括橢圓測(cè)量光學(xué)部件、角度計(jì)、組合反射測(cè)量頭和自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡、樣品臺(tái)、氦氖激光光源、激光檢測(cè)單元和光度計(jì)。

SE 500adv的選項(xiàng)支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、顯示技術(shù)、光伏、化學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用。