MDPinline是生產(chǎn)集成的高速晶片少子壽命自動掃描系統(tǒng)。在一秒鐘內(nèi)完成單晶片形貌測量。

MDPinline是一個用于定量測量少子壽命的緊湊型高速生產(chǎn)集成自動掃描系統(tǒng)。當(dāng)晶片通過傳送裝置移動到儀器下面時，一片晶片的形貌測量在一秒鐘的時間內(nèi)進行實時測量。

MDPinline本身不使用機械移動部件，使得它在連續(xù)操作下也非?？煽?。對于每個單獨的晶片，完整形貌的獲取提供了新的方法來提高生產(chǎn)成本效益和效率。例如，在不到3小時內(nèi)獲得的10,000個晶片形貌的自動統(tǒng)計評估揭示了晶體生長爐的性能以及材料質(zhì)量的微小的細節(jié)?；趯崟r質(zhì)量和均勻性研究，諸如擴散和鈍化之類的處理步驟可以在迄今為止不可能達到的性能的時間內(nèi)逐步增加和優(yōu)化。在運行生產(chǎn)中，可以立即檢測到處理步驟的任何故障。另一方面，晶片銷售給用戶時，如果每個晶片都表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，則可以實現(xiàn)更高的價格，從而在不到一年的時間內(nèi)為MDPinline帶來回報。

優(yōu)勢

• 在不到一秒的時間內(nèi)，實現(xiàn)對一個晶片全電子晶片特性的測量。測量參數(shù)：少子壽命(全形貌)，電阻率(兩行掃描)。
  

• 迄今為止還沒有看到工藝控制、良率和工藝改進的效率允許極快地增加新的生產(chǎn)或工藝，因為來自數(shù)千個晶片的統(tǒng)計信息是在非常短的時間內(nèi)獲得的。
  

• 適合于測量出料或進料晶片的材料質(zhì)量，以及在晶片級別內(nèi)識別結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。適用于擴散工藝的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。